发明名称 Ein Chippackage und ein Verfahren zum Herstellen eines Chippackage
摘要 Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines Chippackage bereitgestellt. Das Verfahren beinhaltet: Ausbilden eines elektrisch isolierenden Materials über einer Chipseite (410); selektives Entfernen mindestens eines Teils des elektrisch isolierenden Materials, wodurch in dem elektrisch isolierenden Material ein Graben ausgebildet wird (420); Abscheiden von elektrisch leitendem Material in dem Graben, wobei das elektrisch leitende Material elektrisch mit mindestens einem über der Chipseite ausgebildeten Kontaktpad verbunden wird (430); Ausbilden einer elektrisch leitenden Struktur über dem elektrisch isolierenden Material, wobei mindestens ein Teil der elektrisch leitenden Struktur in direkter physischer und elektrischer Verbindung mit dem elektrisch leitenden Material steht (440); und Abscheiden einer Fügestruktur über der elektrisch leitenden Struktur (450).
申请公布号 DE102013108196(A1) 申请公布日期 2014.02.06
申请号 DE201310108196 申请日期 2013.07.31
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 FOERSTER, JUERGEN;HARTNER, WALTER;HIRTREITER, JOSEF;WACHTER, ULRICH
分类号 H01L21/60;H01L21/283;H01L23/485 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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