发明名称 Laserbearbeitungsvorrichtung
摘要 Es wird eine Laserbearbeitungsvorrichtung mit einer optischen Übertragungseinheit zum Führen eines Laserstrahls, welcher durch einen Laseroszillator in Schwingung versetzt wurde, zu einer Fokuseinheit bereitgestellt. Die optische Übertragungseinheit umfasst eine Fokuslinse zum Konzentrieren des Laserstrahls, welcher durch den Laseroszillator in Schwingung versetzt wurde, und eine optische Fasereinheit zum Eingeben des Laserstrahls, welcher durch die Fokuslinse konzentriert wurde, und Führen des Laserstrahls zu einer Fokuseinheit. Die optische Fasereinheit umfasst eine LMA-Faser zum Eingeben des Laserstrahls, welcher durch den Laseroszillator in Schwingung versetzt wurde und durch die Fokuslinse konzentriert wurde, wobei die LMA-Faser einen großdurchmessrigen Kern, welcher durch einen Mantel bedeckt ist, aufweist, eine Übertragungsfaser, welche als eine SM-Faser oder eine PM-Faser vorgesehen ist, wobei die Übertragungsfaser einen kleindurchmessrigen Kern aufweist, welcher mit einem Mantel bedeckt ist, und der kleindurchmessrige Kern einen Durchmesser aufweist, welcher der Wellenlänge des Laserstrahls, der durch den Laseroszillator in Schwingung versetzt wurde, entspricht, und einen Verbinder zum Verbinden der LMA-Faser und der Übertragungsfaser, sodass diese Fasern axial miteinander ausgerichtet sind.
申请公布号 DE102013214741(A1) 申请公布日期 2014.02.06
申请号 DE201310214741 申请日期 2013.07.29
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 NOMARU, KEIJI
分类号 B23K26/06;G02B6/32;H01L21/67;H01L21/78 主分类号 B23K26/06
代理机构 代理人
主权项
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