发明名称 掩模板清洗设备
摘要 本实用新型涉及一种掩模板清洗设备,包括电解清洗装置、漂洗装置和干燥装置,电解清洗装置内盛装有清洗液,清洗液为经过电解后可产生高速气体的碱性电解液,高速气体带动清洗液对掩模板进行清洗;漂洗装置邻接于电解清洗装置设置,对掩模板进行漂洗;干燥装置邻接于漂洗装置,对漂洗后的掩模板进行干燥处理。本实用新型可有效清洗掩模板表面和网格中的颗粒杂质,并且不会地掩模板造成任何伤害,也不会对掩模板的精度产生不利影响,从而在用于制造OLED显示屏产品时,显著提高产品的良品率。
申请公布号 CN203420006U 申请公布日期 2014.02.05
申请号 CN201320507550.3 申请日期 2013.08.11
申请人 唐军 发明人 唐军
分类号 C25F1/00(2006.01)I;C25F7/00(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I 主分类号 C25F1/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种掩模板清洗设备,用于清洗掩模板上的杂质,其特征在于:包括电解清洗装置、漂洗装置和干燥装置,所述电解清洗装置内盛装有清洗液,所述清洗液为经过电解后可产生高速气体的碱性电解液,所述高速气体带动所述清洗液对所述掩模板进行冲洗;所述漂洗装置邻接于所述电解清洗装置设置,对所述掩模板进行漂洗;所述干燥装置邻接于所述漂洗装置,对漂洗后的所述掩模板进行干燥处理。
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