发明名称 |
掩模板清洗设备 |
摘要 |
本实用新型涉及一种掩模板清洗设备,包括电解清洗装置、漂洗装置和干燥装置,电解清洗装置内盛装有清洗液,清洗液为经过电解后可产生高速气体的碱性电解液,高速气体带动清洗液对掩模板进行清洗;漂洗装置邻接于电解清洗装置设置,对掩模板进行漂洗;干燥装置邻接于漂洗装置,对漂洗后的掩模板进行干燥处理。本实用新型可有效清洗掩模板表面和网格中的颗粒杂质,并且不会地掩模板造成任何伤害,也不会对掩模板的精度产生不利影响,从而在用于制造OLED显示屏产品时,显著提高产品的良品率。 |
申请公布号 |
CN203420006U |
申请公布日期 |
2014.02.05 |
申请号 |
CN201320507550.3 |
申请日期 |
2013.08.11 |
申请人 |
唐军 |
发明人 |
唐军 |
分类号 |
C25F1/00(2006.01)I;C25F7/00(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I |
主分类号 |
C25F1/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种掩模板清洗设备,用于清洗掩模板上的杂质,其特征在于:包括电解清洗装置、漂洗装置和干燥装置,所述电解清洗装置内盛装有清洗液,所述清洗液为经过电解后可产生高速气体的碱性电解液,所述高速气体带动所述清洗液对所述掩模板进行冲洗;所述漂洗装置邻接于所述电解清洗装置设置,对所述掩模板进行漂洗;所述干燥装置邻接于所述漂洗装置,对漂洗后的所述掩模板进行干燥处理。 |
地址 |
518101 广东省深圳市宝安区沙井和一村蚝一西部工业区A12栋3楼 |