发明名称 涂敷装置和使用其制造液晶显示器件的方法
摘要 涂敷装置及使用其制造液晶显示器件的方法是通过涂敷装置前端和后端处的辅助涂敷装置并从该辅助涂敷装置开始涂敷操作而在基板的整个表面上形成均匀的涂覆层。涂敷装置包括:其上设置有物体的工作台;安装在工作台上并用来在物体表面上涂敷涂敷液的狭缝喷嘴;安装在工作台至少一侧并用来开始涂敷操作的辅助涂敷装置;和预定方向上移动狭缝喷嘴的驱动单元。
申请公布号 CN1885165B 申请公布日期 2014.02.05
申请号 CN200610090058.5 申请日期 2006.06.22
申请人 乐金显示有限公司 发明人 权五晙;赵康一
分类号 G03F7/16(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/16(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 徐金国;梁挥
主权项 一种在基板上形成涂敷层的方法,包括: 在第一辅助涂敷装置处通过喷嘴开始预备排放涂敷液,其中,当所述喷嘴在所述第一辅助涂敷装置处等待时,所述喷嘴相对于所述第一辅助涂敷装置的上端部具有第一距离; 其中,所述第一辅助涂敷装置的所述上端部包括向着所述基板的上部延伸的第一区域,在涂敷工序开始时所述喷嘴在从所述第一辅助涂敷装置移到所述基板的同时排放涂敷液, 其中,所述第一区域具有0.1mm到5mm范围内的宽度,并且 其中,所述第一辅助涂敷装置的所述上端部相对于所述基板具有预定角度的倾斜,其中,当所述喷嘴虽然没有沿垂直方向移动但通过所述第一辅助涂敷装置的所述上端部的斜面而到达所述基板时,形成大于所述第一距离的第二距离; 在向着所述基板移动所述喷嘴的同时排放涂敷液;以及 排放涂敷液,一直到所述基板的结束端。 
地址 韩国首尔