压印设备

摘要

本发明涉及一种压印设备，其执行印模和基片之间的对准并将印模的图案压印到基片的层上，该压印设备包括：支撑部，被配置为支撑印模；工作台，被配置为与支撑部支撑的印模相对地支撑基片；和显微镜，包含图像拾取装置，显微镜被配置为经由图像拾取装置的第一图像拾取区域检测具有第一周期性结构并且形成在印模中的第一对准标记，以及经由图像拾取装置的第二图像拾取区域检测具有第二周期性结构并且形成在印模中的第二对准标记，第一和第二图像拾取区域彼此不重叠，其中，压印设备被配置为使得通过将经由第一图像拾取区域检测到的第一对准标记的基频分量与经由第二图像拾取区域检测到的第二对准标记的基频分量数值相乘而获得莫尔条纹的相位。

主权项

一种压印设备，用于执行印模和基片之间的对准以及将所述印模的图案压印到所述基片的层上，所述压印设备包括：支撑部，被配置为支撑所述印模；工作台，被配置为与由所述支撑部支撑的印模相对地支撑所述基片；以及显微镜，包含图像拾取装置，所述显微镜被配置为经由所述图像拾取装置的第一图像拾取区域检测具有第一周期性结构并且形成在所述印模中的第一对准标记，以及经由所述图像拾取装置的第二图像拾取区域检测具有第二周期性结构并且形成在所述基片中的第二对准标记，所述第一图像拾取区域和所述第二图像拾取区域彼此不重叠；以及控制器，被配置为执行控制，使得通过将经由所述第一图像拾取区域检测到的第一对准标记的基频分量与经由所述第二图像拾取区域检测到的第二对准标记的基频分量进行数值相乘而获得莫尔条纹的相位，并且，通过基于所获得的所述相位来改变所述支撑部和所述工作台的相对位置，执行所述对准。