用于高效太阳能电池的均匀分布的自组装锥形柱

摘要

一种制造光伏装置的方法包括：在衬底上施加（206）二嵌段共聚物层；以及从二嵌段共聚物层中去除第一聚合物材料，以形成多个分布的孔。在二嵌段共聚物层的余下表面上和在孔中与衬底接触地沉积（212）图案形成层。剥离（214）二嵌段共聚物层，并且，图案形成层的部分被保留为与衬底接触。使用图案形成层蚀刻（216）衬底以保护衬底的部分来在衬底中形成柱，使得这些柱在光伏装置中提供辐射吸收结构。

主权项

一种制造光伏装置的方法，包括：在衬底上施加二嵌段共聚物层；从二嵌段共聚物层中去除第一聚合物材料，以形成多个分布的孔；在二嵌段共聚物层的余下表面上和在孔中与衬底接触地沉积图案形成层；剥离二嵌段共聚物层和图案形成层的部分，以保留与衬底接触的图案形成层的部分；以及使用图案形成层蚀刻衬底以保护衬底的部分来在衬底中形成柱，使得所述柱在光伏装置中提供辐射吸收结构。