多晶硅铸锭炉

摘要

本发明公开了一种能够提高铸锭生长速度的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉包括炉体，炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有下托保温板与保温罩，保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼，所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台，所述石墨盖板上设置有多个通孔。通过在石墨盖板上设置多个通孔，顶部加热器的热量可以毫无阻隔的通过通孔传递到坩埚内，使得坩埚内上部的温度相对于原来而言能够有所提高，从而使坩埚内的温度梯度变化明显，进而增加铸锭的生长速度，这种方式只需在原有的石墨盖板上打几个通孔即可，基本不会增加成本，改装也很方便。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

多晶硅铸锭炉，包括炉体（1），炉体（1）上设置有抽气孔（2），所述炉体（1）内设置有下托保温板（3）与保温罩（4），保温罩（4）放置在下托保温板（3）上，保温罩（4）与下托保温板（3）共同构成保温隔热笼，所述保温罩（4）上连接有能够使保温罩（4）上下移动的升降杆（5），所述保温隔热笼内设置有坩埚（6）、坩埚护板（7）、石墨底板（8）、石墨盖板（9）、侧部加热器（10）、顶部加热器（11）、热交换平台（12），所述石墨底板（8）放置在热交换平台（12）上，坩埚（6）放置在石墨底板（8）上，坩埚护板（7）设置在坩埚（6）外侧，侧部加热器（10）设置在坩埚护板（7）的外侧，石墨盖板（9）设置在坩埚（6）上方，顶部加热器（11）设置在石墨盖板（9）上方，所述热交换平台（12）通过石墨立柱（22）固定在炉体（1）底部，坩埚护板（7）的上端设置有尾气排放孔（13），还包括进气管（14），所述进气管（14）依次穿过炉体（1）、保温罩（4）、顶部加热器（11）、石墨盖板（9）后伸入坩埚（6）内，其特征在于：所述石墨盖板（9）上设置有多个通孔（17）。