一种熔体长晶用真空炉

摘要

本实用新型涉及一种熔体长晶用的真空炉，主要是为解决现有的熔体长晶用真空炉生产的产品成品率低，质量不稳定的问题而设计的。它包括炉体、大炉盖、电极、小炉盖、单晶提拉机构、单晶旋转机构、单晶提拉杆、坩埚、坩埚托盘、托盘顶柱、坩埚盖、上隔热屏、加热器、下隔热屏、侧隔热屏；在下隔热屏下面设下保温砖层，在侧隔热屏的外面设侧保温砖层，在上隔热屏上方有内保温砖盖，在侧隔热屏和侧保温砖层上面有外保温砖盖，在侧保温砖层和炉体之间设不锈钢护网，在不锈钢护网与侧保温砖层之间填充氧化铝空心球，在炉体和不锈钢护网之间填充适量的氧化铝空心球。优点是熔体长晶产品成品率高，质量稳定。

主权项

一种熔体长晶用真空炉，包括设有真空系统(22)的炉体(8)，炉体上有大炉盖(6)，电极(5)装在大炉盖上，大炉盖上装有小炉盖(4)，单晶提拉机构(1)上装有单晶旋转机构(2)，单晶旋转机构固定在小炉盖上，单晶旋转机构下面装有单晶提拉杆(3)；炉体内有坩埚(19)，坩埚置于坩埚托盘(18)上，坩埚托盘置于托盘顶柱(16)上，托盘顶柱立在炉底上，坩埚的上方有坩埚盖(20)，坩埚盖上面有上隔热屏(21)，坩埚的外面有加热器(14)，加热器与大炉盖上的电极(5)连接，加热器的下面和四周有用钨片或钼片制作的下隔热屏(15)和侧隔热屏(12)；其特征是：在下隔热屏下面设下保温砖层(17)，在侧隔热屏的外面设侧保温砖层(11)，在上隔热屏上方有内保温砖盖(13)，在侧隔热屏和侧保温砖层上面有外保温砖盖(7)，在侧保温砖层和炉体(8)之间设不锈钢护网(9)，在不锈钢护网与侧保温砖层之间填充氧化铝空心球(10)，在炉体和不锈钢护网之间填充适量的氧化铝空心球，一般填至炉体高的1/3‑2/3即可。