真空镀膜双路供气装置

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜双路供气装置，包括气瓶，所述气瓶包括出气口管路连接的第一气瓶和第二气瓶，在连接第一气瓶和第二气瓶的管路上，分别设有控制第一气瓶供气的第一电磁阀、控制第二气瓶供气的第二电磁阀，第一电磁阀和第二电磁阀之间的管路上连接有通向真空镀膜设备的供气管，第一电磁阀和第二电磁阀内均设有可检测气体压力的压力传感器，第一电磁阀和第二电磁阀线路连接有控制器。本实用新型通过第一气瓶和第二气瓶的自动切换，保证了真空镀膜设备用气的稳定性，避免了由于气瓶内气体容量或气压过低而对镀膜质量带来的不利影响。

主权项

一种真空镀膜双路供气装置，包括气瓶，其特征是：所述气瓶包括出气口管路连接的第一气瓶（1）和第二气瓶（2），在连接第一气瓶（1）和第二气瓶（2）的管路上，分别设有控制第一气瓶（1）供气的第一电磁阀（3）、控制第二气瓶（2）供气的第二电磁阀（4），第一电磁阀（3）和第二电磁阀（4）之间的管路上连接有通向真空镀膜设备的供气管（5），第一电磁阀（3）和第二电磁阀（4）内均设有可检测气体压力的压力传感器，第一电磁阀（3）和第二电磁阀（4）线路连接有控制器（6）。