一种多组卡销式晶圆清洗设备

摘要

本实用新型涉及一种清洗设备，特别涉及一种多组卡销式晶圆清洗设备。包括底座和设置在底座上方的喷嘴，所述喷嘴的喷射口朝向所述底座，其特征在于：所述底座上设有多个卡销组，晶圆通过所述多个卡销组固定在所述底座上；所述底座上还设有用于控制所述卡销组开启和关闭的控制装置。本实用新型在底座上使用多个卡销组，通过控制装置对各个卡销组分开控制，使清洗过程中晶边和卡销接触点位置可以发生变化，从而避免了接触点位置固定导致的接触点始终无法被清洗到的弊端，方案简单易于实现，且清洗效果好，可以防止产生清洗盲区，导致晶边有异常物质残留，使后续制程中产生污染造成晶圆良率低或报废。

主权项

一种多组卡销式晶圆清洗设备，包括底座和设置在所述底座上方的喷嘴，所述喷嘴的喷射口朝向所述底座，其特征在于：所述底座上设有多个卡销组，每组卡销组包括多个卡销，晶圆通过所述多个卡销组固定在所述底座上；所述底座上还设有用于控制所述卡销组开启和关闭的控制装置。