| 发明名称 | 提升多晶硅层均一性的多晶硅制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种提升多晶硅层均一性的多晶硅制作方法，包括：步骤1、在基板（10）上形成非晶硅层（30）；步骤2、将非晶硅层（30）划分为数个区域，测量非晶硅层（30）各区域的膜厚；步骤3、将各区域的测量膜厚分别与预定膜厚进行比较，对于测量膜厚大于预定膜厚的区域定义为膜厚偏厚区域（42），并进行标示；步骤4、对膜厚偏厚区域（42）的非晶硅层（30）喷洒蚀刻液进行清洗，以蚀刻掉膜厚偏厚区域（42）处的部分非晶硅层（30），同时对其它区域喷洒纯水进行清洗，进而使得非晶硅层（30’）各区域的膜厚趋于一致；步骤5、对清洗后的非晶硅层（30’）进行激光退火处理，以使非晶硅层（30’）结晶形成多晶硅层（60）。 | ||
| 申请公布号 | CN103560076A | 申请公布日期 | 2014.02.05 |
| 申请号 | CN201310561925.9 | 申请日期 | 2013.11.12 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 张翔 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种提升多晶硅层均一性的多晶硅制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、在基板（10）上形成非晶硅层（30）；步骤2、将非晶硅层（30）划分为数个区域，测量非晶硅层（30）各区域的膜厚；步骤3、将各区域的测量膜厚分别与预定膜厚进行比较，对于测量膜厚大于预定膜厚的区域定义为膜厚偏厚区域（42），并进行标示；步骤4、对膜厚偏厚区域（42）的非晶硅层（30）喷洒蚀刻液进行清洗，以蚀刻掉膜厚偏厚区域（42）处的部分非晶硅层（30），同时对其它区域喷洒纯水进行清洗，进而使得非晶硅层（30’）各区域的膜厚趋于一致；步骤5、对清洗后的非晶硅层（30’）进行激光退火处理，以使非晶硅层（30’）结晶形成多晶硅层（60）。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 | ||