一种用于将晶圆安全传送至FOUP的传送装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于将晶圆安全传送至FOUP的传送装置，包括轨道箱和滑动臂；所述轨道箱内部两侧壁上由上至下依次设置有若干个对称的轨道对，所述每个轨道对的竖直位置对应FOUP中的一个槽位；所述滑动臂包括底座和支架，所述底座为一矩形板状结构，其两侧各设有一个卡槽，用于将滑动臂卡于轨道箱的轨道对上；所述支架包括一连接板和一圆形托盘，所述连接板的一端水平固定在所述底座的中部，另一端连接所述圆形托盘；所述连接板与底座连接处设有用于调节连接板竖直高度的调节按钮；本发明结构简单，操作方便，定位准确，为手动传送晶圆至FOUP中提供定位和支撑，使晶圆传送过程可控、平滑，避免摩擦而产生缺陷。

主权项

一种用于将晶圆安全传送至FOUP的传送装置，其特征在于，包括轨道箱和滑动臂；所述轨道箱包括前后两端开口的箱体，所述轨道箱内部两侧壁上由上至下依次设置有若干个沿轨道箱水平长边方向且对称的轨道对，所述每个轨道对的竖直位置对应FOUP中的一个槽位；所述滑动臂包括底座和支架，所述底座为一矩形板状结构，其两侧各设有一个卡槽，用于将滑动臂卡于轨道箱的轨道对上；所述支架包括一连接板和一圆形托盘，所述连接板的一端水平固定在所述底座的中部，另一端连接所述圆形托盘；所述连接板与底座连接处设有用于调节连接板竖直高度的调节按钮。