发明名称 |
复合基板、发光元件以及复合基板的制造方法 |
摘要 |
在蓝宝石基板(2)的c面(2a)上设置多个凸部(3)。接着,在c面(2a)上通过气相法生长氮化镓晶体构成的衬底层(5)。接着,在衬底层(5)上通过助熔剂法设置氮化镓晶体层(6)。凸部(3)为六角柱形状或六角锥形状。利用凸部(3)周边的氮化镓晶体生长速度的差异,缓和蓝宝石与氮化镓晶体之间的应力,降低由其造成的裂纹或开裂。 |
申请公布号 |
CN103563051A |
申请公布日期 |
2014.02.05 |
申请号 |
CN201380001199.3 |
申请日期 |
2013.05.22 |
申请人 |
日本碍子株式会社 |
发明人 |
岩井真;仓冈义孝 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I;H01L33/12(2006.01)I;H01L33/22(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海市华诚律师事务所 31210 |
代理人 |
李晓 |
主权项 |
一种复合基板,其特征在于,具备有c面上设置了多个凸部的蓝宝石基板以及在所述c面上结晶生长的氮化镓晶体,所述凸部为六角柱形状或六角锥形状。 |
地址 |
日本爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号 |