发明名称 复合基板、发光元件以及复合基板的制造方法
摘要 在蓝宝石基板(2)的c面(2a)上设置多个凸部(3)。接着,在c面(2a)上通过气相法生长氮化镓晶体构成的衬底层(5)。接着,在衬底层(5)上通过助熔剂法设置氮化镓晶体层(6)。凸部(3)为六角柱形状或六角锥形状。利用凸部(3)周边的氮化镓晶体生长速度的差异,缓和蓝宝石与氮化镓晶体之间的应力,降低由其造成的裂纹或开裂。
申请公布号 CN103563051A 申请公布日期 2014.02.05
申请号 CN201380001199.3 申请日期 2013.05.22
申请人 日本碍子株式会社 发明人 岩井真;仓冈义孝
分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L33/12(2006.01)I;H01L33/22(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 上海市华诚律师事务所 31210 代理人 李晓
主权项 一种复合基板,其特征在于,具备有c面上设置了多个凸部的蓝宝石基板以及在所述c面上结晶生长的氮化镓晶体,所述凸部为六角柱形状或六角锥形状。
地址 日本爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号