一种红外光学材料的均匀性检测装置和方法

摘要

本发明公开了一种红外光学材料的均匀性检测装置和方法，其特征在于采用红外光源、遮杂散光管、准直部件、扩束部件组成均匀红外光束发生装置，红外分光镜将入射光成90°反射，经反射的入射光通过变焦透镜聚焦至待测材料上；被待测材料反射的光束再经过变焦透镜、红外分光镜、聚焦透镜传输到红外传感器，通过处理红外信号实现对待测可见光不透明红外光学材料的均匀性评测。相对于以往红外光学材料的评测方法和装置，本评测方法和装置既可获得待测红外材料内部聚焦面一定景深内缺陷的形貌和位置信息，又可获得待测红外材料内部缺陷的三维形貌和位置信息，从而实现红外光学材料均匀性的精细评测功能。

主权项

一种红外光学材料的均匀性检测装置，其特征在于包括红外分光镜、光轴与红外分光镜法线成45°角的红外均匀光源发生装置，与红外均匀光源发生装置光轴垂直的红外变焦透镜、二维精密移动载物台、聚光镜、红外传感器，红外变焦透镜、二维精密移动载物台、聚光镜、红外传感器共用一个横向光轴；所述红外变焦透镜、二维精密移动载物台沿横向光轴方向设置在红外分光镜前方，且红外均匀光源发生装置产生的红外均匀光源入射到达红外分光镜形成与入射方向垂直的红外光束，红外光束通过红外变焦透镜汇聚到达放置于二维精密移动载物台上的待测材料上形成反射光；所述聚光镜、红外传感器沿横向光轴方向设置在红外分光镜后方，反射光通过红外变焦透镜的汇聚，依次通过红外分光镜、聚光镜投射到红外传感器上并形成电信号；还设置信号采集及控制器，信号采集及控制器分别与红外传感器、二维精密移动载物台、红外变焦透镜连接，信号采集及控制器与计算机连接；所述计算机通过信号采集及控制器控制变焦透镜的对焦和调焦、二维精密移动载物台的移动、以及红外传感器的信号采集。