光学形状测定装置、形状测定的方法以及制造具有形状的结构的方法

摘要

本发明提供用于高精度地测定被测定物的形状的形状测定装置。形状测定装置，具备：照射部(20)，配置成借由对被测定物(3)照射来自光源的光以形成点状图案；扫描部(23)，配置成以点状图案相对地扫描被测定物的表面；受光部(25)，包括多个受光像素，其排列成从与光照射至被测定物的照射方向不同方向来检测光照射至被测定物所产生的点状图案的像；变更部(70)，配置成依据光的照射方向，变更取得用于检测点状图案的像的位置的信号的位置；以及控制部(43)，配置成根据来自受光像素的信号，算出被测定物的位置信息。

主权项

一种形状测定装置，是测定被测定物的形状，其特征在于具备：照射部，包括光源并且配制成借由对该被测定物照射来自该光源的光以形成点状图案；扫描部，以该点状图案相对地扫描该被测定物的表面；受光部，包括多个受光像素，其排列成从与该光照射至该被测定物的照射方向不同方向来检测该光照射至该被测定物所产生的该点状图案的像；变更部，是依据该光的照射方向变更取得该受光部的信号的位置，该信号用于检测该点状图案的像的位置；以及控制部，根据来自该受光部的信号算出该被测定物的位置信息。