| 发明名称 | 蒸镀装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种蒸镀装置，包括蒸镀装置本体（1），所述蒸镀装置本体（1）内设有若干个相互接触传热的导热体（2），所述导热体（2）上设有若干个孔（3），所述导热体（2）上的孔（3）、导热体（2）与蒸镀装置本体（1）之间的间隙（4）和/或导热体（2）与导热体（2）之间的间隙（4）设有用于蒸镀的镀膜材料。该蒸镀装置能更好地传热使得整体加热温度降低从而减少有机材料裂解。 | ||
| 申请公布号 | CN103556118A | 申请公布日期 | 2014.02.05 |
| 申请号 | CN201310475906.4 | 申请日期 | 2013.10.12 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 邹清华;罗长诚;王宜凡 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人 | 吴大建;刘华联 |
| 主权项 | 一种蒸镀装置，包括蒸镀装置本体（1），所述蒸镀装置本体（1）内设有若干个相互接触传热的导热体（2），所述导热体（2）上设有若干个孔（3），所述导热体（2）上的孔（3）、导热体（2）与蒸镀装置本体（1）之间的间隙（4）和/或导热体（2）与导热体（2）之间的间隙（4）设有用于蒸镀的镀膜材料。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 | ||