气浮辊道式半导体器件热处理炉

摘要

本发明涉及一种气浮辊道式半导体器件热处理炉，该热处理炉中传输半导体器件的辊道由若干条水平排列、沿自身轴线往复转动的辊轴组成，至少一部分辊轴为空心辊轴，在空心辊轴上半导体器件经过的部位沿径向方向设置有若干通气孔，在空心辊轴的至少一端通过旋转接头与进气管连接，气体通过空心辊轴上的通气孔进入到半导体器件经过的炉膛部位。本发明从根本上保证炉内核心扩散区域的气氛和洁净度，从而提高了扩散效果和质量。

主权项

一种气浮辊道式半导体器件热处理炉，其特征在于，在所述热处理炉中，传输半导体器件的辊道由若干条水平排列、沿自身轴线往复转动的辊轴组成，至少一部分辊轴为空心辊轴，在空心辊轴上半导体器件经过的部位沿径向方向设置有若干通气孔，在空心辊轴的至少一端通过旋转接头与进气管连接，气体通过空心辊轴上的通气孔进入到半导体器件经过的炉膛部位。