发明名称 片上集成型体波谐振器及其制造方法
摘要 本发明公开了一种片上集成型体波谐振器及其制造方法,其中,该体波谐振器包括:体波谐振器;至少一储能元件,其中,至少一储能元件的至少部分位于体波谐振器在垂直方向的投影区域范围内。本发明通过将储能元件集成到体波谐振器在垂直方向的投影区域范围内,从而有效缩小储能元件和体波谐振器的集成空间,利于进一步缩减体波滤波器芯片的尺寸。
申请公布号 CN103560763A 申请公布日期 2014.02.05
申请号 CN201310555021.5 申请日期 2013.11.08
申请人 诺思(天津)微系统有限公司 发明人 庞慰;江源;张代化;张浩
分类号 H03H9/15(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I;H03H3/02(2006.01)I 主分类号 H03H9/15(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种片上集成型体波谐振器,其特征在于,包括:所述体波谐振器;至少一储能元件,其中,所述至少一储能元件的至少部分位于所述体波谐振器在垂直方向的投影区域范围内。
地址 300462 天津市滨海新区新环东路西、新业五街北