一种高刚度高分辨率精密升降装置

摘要

本发明提供了一种高刚度高分辨率精密升降装置，属于升降装置技术领域。本发明的基座端面固定有X向微分头，推动X向楔块沿X向燕尾槽导轨移动，通过相对运动以及Z向的燕尾槽导轨的限制作用把X方向的运动转换为Z方向的运动，工作台面上升，装置向上对刀。X、Z方向分别有一根拉伸弹簧，连接X向楔块—基座和Z向楔块—基座。在工作台面下降过程中，微分头返程移动，与X向楔块脱离，Z向拉伸弹簧将拉动Z向楔块向下移动，X向拉伸弹簧拉动X向楔块，使其重新与微分头接触。若工作台面处于理想工作位置，Z向紧钉螺钉拧紧，通过Z向镶条锁紧燕尾槽导轨，工作台保持稳定的Z向位置，对刀工作完成。本发明主要用于超精密加工中的精确对刀。

主权项

一种高刚度高分辨率精密升降装置，其特征在于，包括：Z向保护盖（1）、工作台保护盖（2）、Z向拉伸弹簧（3）、工作台（4）、Z向楔块（5）、X向楔块（6）、基座（7）、X向导轨（8）、X向拉伸弹簧（9）、微分头基座（10）、X向保护盖（11）、微分头（12）、Z向导轨紧钉螺钉（13）、Z向导轨镶条（14）和Z向双侧燕尾槽导轨（15），所述基座（7）上部的左右两侧分别设有一个Z向双侧燕尾槽导轨（15），Z向双侧燕尾槽导轨（15）上设有Z向导轨镶条（14），X向楔块（6）设置在两个Z向双侧燕尾槽导轨（15）之间的基座（7）的上部，X向楔块（6）的上部设有Z向楔块（5），Z向楔块（5）上的燕尾槽与Z向双侧燕尾槽导轨（15）上的燕尾榫相配合，Z向拉伸弹簧（3）的上端与Z向楔块（5）相连接，Z向拉伸弹簧（3）的下端与基座（7）的后端相连接，X向拉伸弹簧（9）的一端与X向楔块（6）相连接，X向拉伸弹簧（9）的另一端与基座（7）的前部相连接，基座（7）的前端设有微分头基座（10），微分头（12）通过微分头基座（10）与X向楔块（6）的前端相接触，Z向双侧燕尾槽导轨（15）外部的基座（7）上设有Z向保护盖（1），Z向保护盖（1）的上部设有工作台保护盖（2），工作台（4）设置在工作台保护盖（2）内且与Z向楔块（5）相连接，X向楔块（6）的下部设有X向燕尾槽且与基座（7）上的X向导轨（8）相配合，基座（7）的前部设有X向保护盖（11），Z向导轨紧钉螺钉（13）设置在Z向楔块（5）上。