掩模板清洗器

摘要

本实用新型涉及一种掩模板清洗器，包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置，清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液，清洗槽设置有用于冷却清洗液的冷却管，掩模板浸泡于清洗液中；漂洗槽内盛装有漂洗液，掩模板清洗后，浸渍于漂洗液中漂洗；干燥装置用于将漂洗后的掩模板风干。本实用新型可以有效减少清洗液的损耗，从而降低清洗成本。而且，在清洗的过程中，本实用新型采用机械手对掩模板进行转运，可实现清洗过程的连续化和自动化控制，提高了清洗效率，并进一步降低了清洗成本。

主权项

一种掩模板清洗器，其特征在于：包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置，所述料台适于装载掩模板，所述清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液，所述清洗槽设置有用于冷却所述清洗液的冷却管，所述掩模板浸泡于所述清洗液中；所述漂洗槽内盛装有漂洗液，所述掩模板清洗后，浸渍于所述漂洗液中漂洗；所述干燥装置包括干燥室和鼓风机，所述鼓风机通过管道向所述干燥室内通入无尘空气，使漂洗后的掩模板干燥。