一种用于光电探测器冲激响应测量的装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于光电探测器冲激响应测量的装置，包括多路飞秒脉冲激光产生器、共面波导、电位移平台、光导探针、同轴到共面转换器和锁相放大器；多路飞秒脉冲激光产生器为电位移平台和超快光电探测器提供光源，并使超快电脉冲探测器产生超快电脉冲，所述同轴到共面转换器将接受到的超快电脉冲传递至共面波导上，并在共面波导上产生超快脉冲电场；通过电位移平台的激光激励光导探针在超快脉冲电场下产生光敏电流，并通过锁相放大器对其进行采样。本发明优点在于基于光电技术超快电脉冲的时域波形，光导取样的等效带宽可达300GHz，能够更加准确的测量光电探测器的冲激响应，提高了对光电探测器冲激响应的测量水平。

主权项

一种用于光电探测器冲激响应测量的装置，其特征在于：该装置包括用于产生第一路光和第二路光的多路飞秒脉冲激光产生器；用于输出所述第一路光的激励信号输出端；用于输入经第一路光激励产生的超快电脉冲信号的输入端；与所述输入端同轴连接的同轴到共面转换器；与所述同轴到共面转换器连接的共面波导；沿所述第二路光的传输路径依次设置的电位移平台和光导探针，所述光导探针相对于所述共面波导的位置被设置为使得通过电位移平台的第二路光激励所述光导探针在所述共面波导的作用下产生光敏电流；和锁相放大器，用于与电位移平台的逐步位移相对应地采样所述光敏电流得到采样信号。