发明名称 光学投影辅助挑拣芯片仪
摘要 本实用新型为一种光学投影辅助挑拣芯片仪,包括一可调节支撑架及一投影仪。可调节支撑架包括一固定座、一直杆、一横杆、及一投影仪固定板,直杆固设于固定座上,横杆纵向滑设于直杆上,投影仪固定板横向滑设于横杆上;投影仪设置于投影仪固定板上,二者一起连动,投影仪是用以投影一晶圆。由此,简化人工挑拣芯片时较繁复的流程,以提高工作效率及降低核对错误的比率。
申请公布号 CN203417856U 申请公布日期 2014.02.05
申请号 CN201320423589.7 申请日期 2013.07.17
申请人 京隆科技(苏州)有限公司 发明人 陈南良
分类号 B07C5/00(2006.01)I 主分类号 B07C5/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种光学投影辅助挑拣芯片仪,其特征在于,包括:一可调节支撑架,包括一固定座、一直杆、一横杆、及一投影仪固定板,该直杆固设于该固定座上,该横杆纵向滑设于该直杆上,该投影仪固定板横向滑设于该横杆上;以及一投影仪,设置于该投影仪固定板上,二者一起连动,该投影仪用以投影一晶圆。
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