发明名称 |
光学投影辅助挑拣芯片仪 |
摘要 |
本实用新型为一种光学投影辅助挑拣芯片仪,包括一可调节支撑架及一投影仪。可调节支撑架包括一固定座、一直杆、一横杆、及一投影仪固定板,直杆固设于固定座上,横杆纵向滑设于直杆上,投影仪固定板横向滑设于横杆上;投影仪设置于投影仪固定板上,二者一起连动,投影仪是用以投影一晶圆。由此,简化人工挑拣芯片时较繁复的流程,以提高工作效率及降低核对错误的比率。 |
申请公布号 |
CN203417856U |
申请公布日期 |
2014.02.05 |
申请号 |
CN201320423589.7 |
申请日期 |
2013.07.17 |
申请人 |
京隆科技(苏州)有限公司 |
发明人 |
陈南良 |
分类号 |
B07C5/00(2006.01)I |
主分类号 |
B07C5/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
一种光学投影辅助挑拣芯片仪,其特征在于,包括:一可调节支撑架,包括一固定座、一直杆、一横杆、及一投影仪固定板,该直杆固设于该固定座上,该横杆纵向滑设于该直杆上,该投影仪固定板横向滑设于该横杆上;以及一投影仪,设置于该投影仪固定板上,二者一起连动,该投影仪用以投影一晶圆。 |
地址 |
215123 江苏省苏州市苏州工业园区凤里街168号 |