| 发明名称 | 一种碳化硅晶须的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种碳化硅晶须的制作方法，该方法包括下列步骤：步骤一，将石墨及其他碳质原料与硅质原料粉碎充分混合，其碳质原料与硅质原料重量比为1:2；步骤二，将步骤一的混合原料装在有充氮气的真空感应炉以15~20℃∕分钟升温，在1300~1700℃保温2~5小时，自然冷却得碳化硅晶须；步骤三，将制作好的碳化硅晶须出炉纯化处理。本发明具有生产工艺简单，生产成本低，晶须质量好，可批量生产的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN103556212A | 申请公布日期 | 2014.02.05 |
| 申请号 | CN201310466998.X | 申请日期 | 2013.10.10 |
| 申请人 | 栾晓明 | 发明人 | 栾晓明 |
| 分类号 | C30B1/10(2006.01)I;C30B29/62(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I | 主分类号 | C30B1/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳利泰专利商标代理有限公司 21209 | 代理人 | 史进斗 |
| 主权项 | 一种碳化硅晶须的制作方法，其特征在于包括下列步骤：步骤一，将石墨及其他碳质原料与硅质原料粉碎充分混合，其碳质原料与硅质原料重量比为1:2；步骤二，将步骤一的混合原料装在有充氮气的真空感应炉以15~20℃∕分钟升温，在1300~1700℃保温2~5小时，自然冷却得碳化硅晶须；步骤三，将制作好的碳化硅晶须出炉纯化处理。 | ||
| 地址 | 116200 辽宁省大连市普兰店市铁西街道办事处马虎岛村孛后屯73号 | ||