多晶硅还原炉用绝缘磁环及其制作方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅还原炉用绝缘磁环的制作方法，其以熔融石英砂块料、颗粒料及纯水为原料，通过湿法球磨工艺，制备出待用的原浆，并加入分散剂，减少浆料的研磨时间，增强原浆的分散性能。在原浆中加入不同颗粒级配的50～100目石英砂原料、100～200目或120F石英砂原料，使得浆料体系的颗粒尺寸分布更宽，以更适合后续的注浆成型对浆料的颗粒级配要求。熔融石英材料机械加工精度和易加工能力较佳，因而对后续绝缘磁环打磨抛光设备要求不高，减少了后期打磨抛光设备的投入成本。此外，本发明还涉及一种使用该制作方法制作的绝缘磁环。

主权项

一种多晶硅还原炉用绝缘磁环的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：按照如下质量百分比称取各组分：20%～30%的纯水、20%～30%的熔融石英砂块料以及40%～60%的4～20目熔融石英砂颗粒，加入分散剂将各组分混合后进行球磨处理，制备中值粒径为7.0～12.0μm、含水量为15%～25%的原浆，其中，所述分散剂的用量为15～30g/1000kg原浆；在30～40℃的环境下对所述原浆进行均化陈腐处理，均化陈腐过程中保持对原浆进行持续搅拌，以得到具有如下指标的均化陈腐后的原浆：含水量16%～21%、浆料黏度不大于200cP及pH 5～6；在30～40℃的环境下，称取质量百分比50%～80%的均化陈腐后的原浆、15%～35%的50～100目熔融石英砂颗粒以及5%～25%的100～200目或120F熔融石英砂粉末混合后进行球磨处理，再加入粘结剂溶液，混匀后制备密度不小于1.8g/cm3、黏度为1500～2500cP、含水量11%～13%、流动性为75～125mm/30s的浇注浆料，其中所述粘结剂溶液中粘结剂与水的质量比为0.5～4:100，粘结剂溶液的加入量为2～4L/1000kg浇注浆料；以20～30mL/1000kg浇注浆料的比例向所述浇注浆料中加入消泡剂，并对加入消泡剂的所述浇注浆料进行抽真空处理；在湿度为40%～60%、温度为25～35℃的环境中，将抽真空处理后的浇注浆料浇注进注浆模具中，待所述浇注浆料成型后，进行脱模操作，得到绝缘磁环坯体；将所述绝缘磁环坯体依次进行烘干、烧结及抛光处理，得到所述多晶硅还原炉用绝缘磁环。