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MÉTODO PARA ANÁLISE DOS MATERIAIS POR MEIO DE FEIXE DE ELÉTRONS FOCALIZADO UTILIZANDO OS CARACTERÍSTICOS RAIOS X E ELÉTRONS RETRO-DISPERSADOS E DISPOSITIVO PARA EXECUTAR O MESMO A presente invenção refere-se a um método de análise de materiais por feixe de elétrons focalizado, com a utilização do dispositivo para executar esse método, criando o mapa de elétrons B que descreve a intensidade de emissão de elétrons retro-dispersados nos diversos pontos na amostra, e o mapa de espectro S, que descreve a intensidade de emissão de Raios X nos pontos da amostra, dependentemente da energia de raios. Para os elementos químicos selecionados se criam os mapas de Raios X Mi, que expressam a intensidade de Raios X, característicos para esses elementos. Os mapas de Raios X Mi e o mapa de elétrons B convertem-se para os mapas diferenciais de Raios X Di, e estes, sucessivamente, se unem em resultantes mapas diferenciais D. Em seguida se utiliza o resultante mapa diferencial D para buscar/identificar as partículas. Para cada partícula será calculado o espectro acumulado Xj de Raios X, com o peso dos pontos situados nas margens da partícula inferior ao dos pontos situados no interior da partícula. Do espectro acumulado Xj se determina mediante a análise quantitativa espectroscópica a representação proporcional dos elementos químicos na partícula. |
