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发明名称
密封构件、减压容器、减压处理装置、减压容器的密封机构及减压容器的制造方法
摘要
本发明是提供一种:在接合复数张板材所构成的真空容器中,可充分确保角落部之气密性的密封机构。;本发明是在框体70的角落部,藉由回圈状部80b确保接合部JC的气密性。而用来固定回圈状部80b的补助具,是使用:支承块91,该支承块91是固定于框体70的角落部,并用来支承回圈状部80b;及角落部按压具92,该角落部按压具92与该支承块91形成面接触而将其固定。
申请公布号
TWI425554
申请公布日期
2014.02.01
申请号
TW096114841
申请日期
2007.04.26
申请人
东京威力科创股份有限公司 日本
发明人
山田洋平
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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