发明名称 密封构件、减压容器、减压处理装置、减压容器的密封机构及减压容器的制造方法
摘要 本发明是提供一种:在接合复数张板材所构成的真空容器中,可充分确保角落部之气密性的密封机构。;本发明是在框体70的角落部,藉由回圈状部80b确保接合部JC的气密性。而用来固定回圈状部80b的补助具,是使用:支承块91,该支承块91是固定于框体70的角落部,并用来支承回圈状部80b;及角落部按压具92,该角落部按压具92与该支承块91形成面接触而将其固定。
申请公布号 TWI425554 申请公布日期 2014.02.01
申请号 TW096114841 申请日期 2007.04.26
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 山田洋平
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本