具有平坦晶圆背面之太阳能电池之制造方法

摘要

一种具有平坦晶圆背面之太阳能电池之制造方法，包含以下步骤：提供一第一晶圆，第一晶圆包含一第一正面、一第一背面及连接第一正面及第一背面之多个第一侧面；于第一晶圆之第一背面及此等第一侧面形成一薄膜阻抗层；对第一晶圆之第一正面刻以纹理；对第一晶圆之第一正面进行掺杂及扩散处理，以形成一扩散层及于扩散层上之一磷化物层；移除磷化物层及薄膜阻抗层；于扩散层上形成一抗反射层；以及于抗反射层上形成多个正面电极，并于第一晶圆之第一背面形成一背面金属层及多个背面电极。依据上述方法所制造出的太阳能电池亦一并揭露。