位元线的制造方法

摘要

本发明提供一种位元线的制造方法，包括于一基板中形成一沟槽；于上述沟槽的侧壁上顺应性形成一阻障层：于上述沟槽中形成一第一硬遮罩层，并覆盖部分上述阻障层；顺应性于上述沟槽中形成一阻挡层和一第二硬遮罩层，并暴露部分上述第一硬遮罩层和上述阻障层；移除未被上述阻挡层和上述第二硬遮罩层覆盖的部分上述阻障层；移除上述第二硬遮罩层；同时移除上述阻挡层和上述第一硬遮罩层，以暴露出部分上述沟槽的侧壁。