| 摘要 |
本发明之课题为：使得以抑制乾燥溶剂密封不使用之涂布液喷嘴前端部以防止长时间乾燥的处理容易调整成最适当的状态，能在以抽吸溶剂层之量所设定的长时间内不进行假注液。;为解决上述课题，液体处理装置(方法)从涂布液喷嘴对基板固持部所大致水平固持之基板的表面供给涂布液，进行向该基板的表面喷出涂布液以形成涂布膜的液体处理；于该液体处理装置(方法)中，设置拍摄涂布液喷嘴10前端部的机构，画面中事先显示进行防止长时间乾燥之处理时的涂布液位置、抑制乾燥溶剂位置的摄影影像，并利用该画面中所插入之软量尺121a进行设定，藉此不依赖目视而依据设定值进行注液控制，以调整该涂布液喷嘴之前端部内的涂布液的乾燥抑制。 |
