| 摘要 |
本发明旨在提供一种基板缓冲单元，使在基板输送道上朝一方向被输送之基板暂时退避，其特征在于可高效率地使缓冲空间之空气清净，并减少成本。;其中包含：箱状之架座部2，设于基板输送道途中，包含载置基板之载置部6，并以可移动至偏离该基板输送道之既定位置之方式设置；洁净空气供给机构4，设于该箱状之架座部之上表面或侧面，供给经净化之洁净空气；及通风道5，连接该洁净空气供给机构与该架座部一侧面；且自形成于该箱状架座部一侧面之空气导入口7朝该载置部供给由该洁净空气供给机构供给之洁净空气，由形成于该箱状之架座部中与该空气导入口相反之一侧侧面之空气导出口8排气。 |
