发明名称 半导体装置之分类设备与分类方法
摘要 一种半导体装置之分类设备,尤其是一种能够依据分类准则自动地对半导体晶片等装置进行分类之分类设备及分类方法。此半导体装置之分类设备系包含:装载单元,系用以装载其上装载有第一装置之托盘;复数个第一移动缓冲器,系用以从装载单元之托盘中接收第一装置;第一传送工具,系用以将装载于第一移动缓冲器之上的第一装置插入到老化板之空余空间中;第二传送工具,系用以从老化板中取回第二装置;复数个第二移动缓冲器,系用以在其之上装载由第二传送工具取回之第二装置;以及卸载单元,系用以从第二移动缓冲器中接收第二装置,并将第二装置装载于托盘之上。
申请公布号 TWI425588 申请公布日期 2014.02.01
申请号 TW099108805 申请日期 2010.03.24
申请人 宰体有限公司 南韩 发明人 柳弘俊;尹芸重
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 许世正 台北市信义区忠孝东路5段410号4楼
主权项
地址 南韩