发明名称 CO喷嘴 CO
摘要 一种提供清洁用之二氧化碳的喷嘴及方法,包括:供应二氧化碳流;将二氧化碳流相变为气相二氧化碳及二氧化碳颗粒;以筛选构件拦阻二氧化碳流;将选定较大尺寸之二氧化碳颗粒留在筛选构件之上游;允许选定较小尺寸之二氧化碳颗粒通过筛选构件以供清洁用。
申请公布号 TWI425556 申请公布日期 2014.02.01
申请号 TW099130241 申请日期 2010.09.07
申请人 瑞弗N P 股份有限公司 美国 发明人 鲍尔斯查尔斯W;瓦尔吉斯艾文;巴鲁克美迪
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 美国