混合式六自由度奈米级精密定位平台系统

摘要

本发明是关于一种混合式六自由度奈米级精密定位平台系统，设有一平台组、一量测回授组及一控制组，该平台组设有一底座、一双轴滑轨平台及一微动压电平台，该双轴滑轨平台可移动地设于该底座，该微动压电平台设于该双轴滑轨平台上，该量测回授组与该平台组相结合且设有两单光束雷射干涉仪、一双光束雷射干涉仪及一反射装置，该控制组与该平台组及该量测回授组相电性连接且设有一电脑及一控制器，该控制器是与该电脑、双轴滑轨平台及微动压电平台相电性连接，提供一方便组装、成本低且具高精度长行程定位效果之精密定位平台系统者。