| 摘要 |
本发明的课题为压电致动器(16)退缩时缓和施加在压电元件的拉张力，即使在高温环境下仍可进行稳定的流量控制。;其解决手段是在具有阀座的主体(8)；坐落在阀座(8d)的金属隔膜(9)；自由升降地支撑在主体(8)侧的致动器箱(13)；固定在主体(8)侧的分割底座(11)；将致动器箱(13)朝向下方推压作用使得金属隔膜(9)坐落在阀座(8d)的盘簧(15)；及收容在致动器箱(13)内，藉着电压的外加朝着上方伸长使致动器箱(13)抵抗盘簧(15)的弹力而上推的压电致动器(16)所构成的压电元件驱动式控制阀(1)中，分割底座(11)与压电致动器(16)之间，隔设着对于压电致动器(16)的压电元件经常施以压缩力的预压机构(20)。 |
