| 发明名称 |
新颖树脂及包括该树脂之光阻组成物 |
| 摘要 |
本发明提供包括内酯单元之新树脂及包括该树脂之光阻组成物。 |
| 申请公布号 |
TWI425314 |
申请公布日期 |
2014.02.01 |
| 申请号 |
TW099115903 |
申请日期 |
2010.05.19 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 美国 |
发明人 |
徐承柏;詹皮尼 安东尼 |
| 分类号 |
G03F7/004;C08F20/28;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
