| 摘要 |
本发明提供一种低同调性扫描干涉技术的扫描误差校正之系统，包括：一宽频带扫描干涉系统，包括复数干涉仪光学组件，用以结合来自于一待测物的测试光和来自于一参考物的参考光，而在一侦测器中形成一干涉图案，其中上述测试光和参考光来自于一共用光源，上述宽频带扫描干涉系统更包括一扫描平台，用以扫描介于上述测试光和参考光之间之从上述共用光源至上述侦测器的一光程差，以及包括上述侦测器之一侦测器系统，用以纪录一系列之光程差增量之每一者的干涉图案，其中每一个上述光程差增量的频率定义一画框频率；上述干涉仪光学组件更用以产生至少二个监测干涉讯号，当扫描上述光程差时，上述监测干涉讯号之每一者表示上述光程差的变化，其中上述侦测系统更用以纪录上述监测干涉讯号；以及一电子;处理器，电性耦接于上述侦测系统和扫描平台，用以决定大于上述画框频率的频率时上述光程差增量对扰动灵敏度的资讯。 |
