多阶调光罩及图案转印方法

摘要

一种多阶调光罩1，系在透明基板上具有半透光膜及遮光膜，藉由前述半透光膜及前述遮光膜的图案形成遮光部2、透光部4、及半透光部3的多阶调光罩，在平面观察中，前述多阶调光罩1具有被夹在前述遮光部2间的半透光部3，前述半透光部3具有：第1半透光区域12，系具有第1透过率；及第2半透光区域13，系被设置于前述遮光部2与前述第1半透光区域12之间，具有比前述第1透过率高的第2透过率。