| 摘要 |
本发明之课题在于将测试头从上侧电接触在探针卡，并且将探针卡的探针电接触在基板的电极垫，进行测量该基板的电特性时，以较高的尺寸精确度使测试头下降，使测试头和探针卡确实地电接触，并且谋求探针装置小型化。;其解决手段系于保持测试头的保持部装设将该测试头朝上侧弹推的气体弹簧，在探针卡的上方之测试头形成水平的水平位置，使在顶板旋转自如地被装设在垂直轴周围的滑动环的内周侧之涵盖周方向设于复数个部位的凸轮从动件，相对地攀登在测试头的下面的弹簧环的侧周面之涵盖周方向形成于复数部位的锥状锷部之上方，藉此使测试头下降。 |
