发明名称 感光性树脂组合物
摘要 本发明提供一种感光性树脂组合物,其显影残膜率较高且为高感光度,进而具有高伸长率及高保存稳定性。本发明之感光性树脂组合物含有:具有选自由下述通式(1)所表示之结构及下述通式(2)所表示之结构所组成之群中之至少一种结构的羟基聚醯胺树脂(A)、及光酸产生剂(B),;[化1];(1);{式中,Z1、Z2及Z3分别独立为2价有机基,Z1、Z2及Z3中之至少1个具有脂环式结构或脂肪族结构,并且m1为0或1之整数};[化2];(2);{式中,Z1、Z2及Z3分别独立为2价有机基,Z1、Z2及Z3中之至少1个具有脂环式结构或脂肪族结构,并且m1为0或1之整数}。
申请公布号 TWI425052 申请公布日期 2014.02.01
申请号 TW100104808 申请日期 2011.02.14
申请人 旭化成电子材料股份有限公司 日本 发明人 涉井智史
分类号 C08L79/08;C08K5/28;G03F7/004;C08G73/10;G03F7/022;H01L21/027;G02F1/1335 主分类号 C08L79/08
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本
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