基板载置机构及具备该基板载置机构的基板处理装置

摘要

本发明之课题在于提供：可以更为提升温度均匀性之基板载置机构。;本发明的解决手段为具备：埋设有发热体(102)之石英制加热器本体(101)；及被积载于石英制加热器本体(101)的被处理基板载置面(103)上之耐蚀性陶瓷构件(104)。