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<p>Eine interferometrische Entfernungsmessanordnung zur Vermessung von Oberflächen mit wenigstens einer durchstimmbaren Laserquelle mit einer Kohärenzlänge zum Erzeugen von mit einer Wellenlängenrampe modulierten Messstrahlung, einem optischen Strahlengang mit einer Sendeoptik zum Emittieren der Messstrahlung auf die Oberfläche und einer Empfangsoptik zum Empfangen der von der Oberfläche zurückgestreuten Messstrahlung weist einen Messarm und einen Referenzarm sowie einen Strahlungsdetektor und einer Auswerteinheit zum Bestimmen der Entfernung von einem Bezugspunkt der Entfernungsmessanordnung zur Oberfläche auf. Hierbei werden durch wenigstens einen Strahlteiler n >= 2 Kanäle für die parallele Emission von Messstrahlung definiert, denen jeweils ein unterschiedlicher Teilbereich des durch die Kohärenzlänge definierten Messbereichs zugewiesen wird.</p> |
