Bauelement mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur

摘要

Es werden Maßnahmen zur Verbesserung der Mikrofonempfindlichkeit und der Linearität des Mikrofonsignals eines Mikrofonbauelements vorgeschlagen, die außerdem zur Erhöhung der Robustheit des Bauelements beitragen. Die mikromechanische Mikrofonstruktur des Bauelements (10) ist in einem Schichtaufbau auf einem Halbleitersubstrat (1) realisiert und umfasst eine akustisch aktive Membran (11), die eine Schallöffnung (14) in der Substratrückseite zumindest teilweise überspannt und mit mindestens einer beweglichen Elektrode einer Mikrofonkondensatoranordnung versehen ist, sowie ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (15) mit Durchgangsöffnungen (16), das im Schichtaufbau über der Membran (11) angeordnet ist und als Träger für mindestens eine unbewegliche Elektrode der Mikrofonkondensatoranordnung fungiert. Erfindungsgemäß ist die Membran (11) in einem Mittelbereich (121) an das Halbleitersubstrat (1) angebunden. Außerdem weist die Membran (11) zumindest bereichsweise eine wellblechförmige Korrugation (13) auf.