| 摘要 |
Bei einem verbesserten Pirani-Sensor wir das Messelement im Fluid zwischen einer Grundplatte und einer Wärmesenke angeordnet. Das Messelement wird dabei durch Aufhängungen in der korrekten Position gehalten. Die Aufhängungen sind mit der Grundplatte verbunden und ein separates Heizelement thermisch leitfähig wiederum mit den Aufhängungen. Der Pirani-Sensor ermittelt die Wärmeverluste über das Fluid an die Wärmesenke, während die Wärmeverluste an die Aufhängung durch die separaten Heizelemente ausgeglichen werden. Hierdurch werden die parasitären Wärmeverluste vom Pirani-Sensor an die Aufhängung kompensiert. |
