固态成像装置及其制造方法以及电子设备

摘要

提供通过减少光学混色和/或Mg光斑来提高图像质量的固态成像装置及其制造方法以及电子设备。本发明包括：像素区域（23），在该像素区域（23）中排列有多个由光电转换部（PD）和像素晶体管（Tr）构成的像素（24）；片上滤色器（42）；片上微透镜（43）；多层布线层（33），多层布线（32）经由层间绝缘模（31）而形成在该多层布线层（33）中；遮光膜（39），该遮光膜（39）经由绝缘层（36）形成在受光面（34）的像素边界上，光电转换部（PD）排列在该受光面（34）上。

主权项

一种固态成像装置的制造方法，包括以下步骤：在衬底的表面区域形成多个受光部以及期望的杂质区域，并在背面区域形成蚀刻阻挡层；在所述衬底的表面侧形成布线层，所述布线层由经由层间绝缘膜而形成的多层布线构成；从所述衬底的背面侧将所述衬底蚀刻至所述蚀刻阻挡层；形成从所述衬底的背面侧到达至期望深度的沟槽部；在形成于所述衬底中的沟槽部形成掩埋膜，并将所述掩埋膜作为阻挡而将所述衬底弄薄；以及在去除所述掩埋膜之后向所述沟槽部中掩埋遮光膜。