监测部件磨损的设备和方法

摘要

一种用于装备部件来监测涂层中磨损的结构和方法。该方法包括沉积第一电绝缘材料薄层，在第一电绝缘层上沉积薄导电层，在导电层上沉积第二电绝缘材料薄层。覆盖厚度的涂层材料被沉积在第二电绝缘材料薄层上。该绝缘和导电层的厚度被控制成足够小使得暴露给机械磨损的覆盖涂层表面保持期望的平滑度而不需要单独的平整步骤。

主权项

一种部件，包括：基体材料；布置在基体材料的表面上并限定暴露于机械磨损的表面的涂层材料层；布置在耐磨材料层中并且当连接到电路时作为传感器操作的导电材料层，导电材料层包括小于25微米的厚度；以及在涂层材料中包围导电材料层的电绝缘材料层，电绝缘材料层在导电材料层上方和下方包括小于100微米且大于等于25微米的厚度，其中导电材料层和电绝缘材料层的总厚度和表面下方深度使得暴露于机械磨损的表面保持期望的平滑度而不需要平整表面。