电容式开关、信号收发装置及制造方法

摘要

本发明实施例提供一种电容式开关、信号收发装置及制造方法。该电容式开关包括：第一导电悬臂、第二导电悬臂、衬底以及设置在衬底上的共面波导，该共面波导包括用于传输电信号的第一导体和设置在第一导体两侧的作为地线的第二导体和第三导体，第一导体上设有绝缘介质层，绝缘介质层上设有导电层；第一导电悬臂通过第一固定端与第二导体连接，第二导电悬臂通过第二固定端与第三导体连接，当所述电容式开关通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述导电层接触，所述第二导电悬臂的第二悬空端与所述导电层接触。本实施例提供的电容式开关，通过采用悬臂的分离结构释放电容式开关中金属膜桥产生的应力，确保信号的传输质量。

主权项

一种电容式开关，其特征在于，包括：第一导电悬臂、第二导电悬臂、衬底以及设置在所述衬底上的共面波导，所述共面波导包括用于传输电信号的第一导体和设置在所述第一导体两侧的作为地线的第二导体和第三导体，所述第一导体上设有绝缘介质层，所述绝缘介质层上设有导电层；所述第一导电悬臂通过所述第一导电悬臂的第一固定端与所述第二导体连接，所述第二导电悬臂通过所述第二导电悬臂的第二固定端与所述第三导体连接，当所述电容式开关未通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述第二导电悬臂的第二悬空端悬空在所述导电层的上方，当所述电容式开关通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述导电层接触，所述第二导电悬臂的第二悬空端与所述导电层接触。