一种晶圆上片防撞机台

摘要

本实用新型揭示了一种晶圆上片防撞机台，包括用于放置晶圆输送盒的升降台，在所述升降台上设置有机台侧板，在所述机台侧板上开设有与所述晶圆输送盒宽度相当的定位凹槽，在所述定位凹槽的上端还设置有防撞片。通过加装定位凹槽等定位装置，有效防止晶圆输送盒在升降过程中移位，从而避免撞击周边机构及其内部晶圆，减少设备或晶圆损坏，保证生产效率；通过加装防撞片，避免晶圆输送盒上升超过范围时撞击定位槽上端位置，同样避免了晶圆被损坏。

主权项

一种晶圆上片防撞机台，其特征在于：包括用于放置晶圆输送盒（3）的升降台（1），在所述升降台（1）上设置有机台侧板（2），在所述机台侧板（2）上开设有与所述晶圆输送盒（3）宽度相当的定位凹槽（4），在所述定位凹槽（4）的上端还设置有防撞片（5）。