可调扩展光源照明的同轴斐索型同步移相干涉仪

摘要

一种可调扩展光源照明的同轴斐索型同步移相干涉仪，属于光学干涉测量仪器领域。其构成包括扩展光源组件、前置迈克尔逊型干涉仪组件和斐索型主干涉仪。本发明采用前置干涉仪组件产生两束呈正交偏振态的照明光波，通过前置干涉仪与主干涉仪空间相干性的匹配实现被测面与参考面的偏振移相干涉，并利用扩展光源空间相干光程短的特性消除附加条纹。本发明具有测量距离远、对比度连续可调、相干光程连续可调、易于操作、对参考面高频面形误差要求较低等特点，可用于光学元件的高精度检测、光学元件在线检测和超光滑表面检测等领域。

主权项

一种可调扩展光源照明的同轴斐索型同步移相干涉仪，其特征在于，包括：可调扩展光源组件(1)、前置干涉仪组件(2)和主干涉仪，由可调扩展光源组件发出的光经第一准直透镜(3)准直后入射到所述前置干涉仪组件，由所述前置干涉仪组件的出射光进入主干涉仪；其中，所述可调扩展光源组件用于提供一个轮廓大小可调且中心位置不变的扩展光源；所述前置干涉仪组件为迈克尔逊式，用于产生两束呈正交偏振态的光，且这两束光的光强比例可调，通过可调反射镜(7)沿光轴方向的位置调整可实现与主干涉仪空间相干性匹配；所述主干涉仪为斐索型干涉仪，使分别从参考面和被测面反射回的两束光波形成干涉场。