具有改良的性能的切削液

摘要

包含用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和的聚亚烷基二醇的切削液有利于用线状锯切割半导体晶体。

主权项

一种能够通过使用碱催化剂由环氧烷聚合制得的聚亚烷基二醇产物，其中所述碱催化剂和聚亚烷基二醇用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和，其中该聚合酸是用丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2‑丙烯酰胺基‑2‑甲基丙基磺酸中的一种或多种自由基接枝的聚环氧烷；丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2‑丙烯酰胺基‑2‑甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物；或用聚环氧烷或聚环氧烷的单烷基或芳基醚接枝的该均聚物或共聚物。