主权项 |
一种热致驱动的MEMS可变电容器,其特征在于:所述的电容器包括衬底(1)、一个固定的下极板(7)和一个可上下活动的上极板(13),上极板通过呈对称结构布置的四个热驱动器驱动;所述热驱动器包括四根悬臂梁,呈两侧对称分布,其中的两根悬臂梁为冷臂(12),另两根悬臂梁为加热臂(9);所述的冷臂(12)包括冷臂一侧的下电极(5)、冷臂一侧的通孔(12A)、冷臂一侧的悬臂梁(12B)、冷臂的连接平台(12C)、冷臂另一侧的悬臂梁(12D)、冷臂另一侧的通孔(12E)和冷臂另一侧的下电极(6),冷臂(12)的一端固定于衬底(1)上的锚点,另一端与上极板(13)连接;所述的加热臂(9)包括加热臂的输入电极(3)、加热臂一侧的通孔(9A)、加热臂一侧的悬臂梁(9B)、加热臂的连接平台(9C)、加热臂另一侧的悬臂梁(9D)、加热臂另一侧的通孔(9E)和加热臂的输出电极(4);上极板(13)、冷臂的悬臂梁(12B、12D)和冷臂的连接平台(12C)处于同一平面A;加热臂的悬臂梁(9B、9D)和加热臂的连接平台(9C)处于平面A的下层,加热臂的连接平台(9C)与冷臂的连接平台(12C)之间以绝缘层(10)隔离;四个热驱动器的加热臂(9)的输入电极(3)相互并联,作为所述可变电容器的加热信号的输入端,加热臂(9)的输出电极(4)相互并联,作为所述可变电容器的加热信号的输出端;四个热驱动器的冷臂(12)的下电极(5、6)相互并联,作为所述可变电容器与外电路连接的一个电极,下极板(7)为所述可变电容器与外电路连接的另一个电极。 |